在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈重構(gòu)和國產(chǎn)化替代加速的大背景下，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正迎來前所未有的發(fā)展機(jī)遇。作為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場，中國占據(jù)全球超過40%的消費(fèi)份額，尤其在先進(jìn)制程設(shè)備、關(guān)鍵材料和EDA工具等領(lǐng)域仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口。為突破這一困境，國家大基金（一期、二期）和“十四五”規(guī)劃重點(diǎn)支持半導(dǎo)體設(shè)備、材料等發(fā)展，以推動產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控。
在這一國產(chǎn)替代浪潮中，半導(dǎo)體設(shè)備作為芯片制造的核心支撐，率先成為關(guān)鍵突破口。刻蝕、薄膜沉積、檢測設(shè)備等核心設(shè)備已逐步實(shí)現(xiàn)部分國產(chǎn)化，而北方某精密電子科技企業(yè)，作為中國領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備制造商，憑借其在刻蝕設(shè)備（Etching）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）等領(lǐng)域的先進(jìn)技術(shù)，已成為推動國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)鏈自主化的重要力量。
該企業(yè)是國家級高新技術(shù)企業(yè)，擁有多項核心專利，部分設(shè)備技術(shù)已達(dá)國際先進(jìn)水平，現(xiàn)已發(fā)展成為中國半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的核心企業(yè)。其業(yè)務(wù)涵蓋：半導(dǎo)體制造設(shè)備（刻蝕、沉積、清洗等，應(yīng)用于IC、先進(jìn)封裝、MEMS等領(lǐng)域）真空設(shè)備（光伏、LED、新材料等應(yīng)用）電子元器件（高精密電阻、電容、模塊電源等）。產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新，與高校及科研院所緊密合作，加速技術(shù)迭代。
該項目在北京亦莊某產(chǎn)業(yè)基地建設(shè)的現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)園，總建筑面積達(dá)23.5萬平方米，其中N7廠房作為核心生產(chǎn)區(qū)域，對生產(chǎn)環(huán)境的溫控穩(wěn)定性和能效管理提出了極高要求。
半導(dǎo)體制造對環(huán)境控制極為嚴(yán)苛，尤其是精密設(shè)備生產(chǎn)需保持恒定溫濕度，以避免熱應(yīng)力影響設(shè)備精度。為確保項目在亦莊基地的高效運(yùn)行，本項目采用特靈高效機(jī)房解決方案，峰值制冷負(fù)荷高達(dá)11,000RT，并承諾全年綜合能效（COP）不低于6.5，遠(yuǎn)超行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
總冷量 11000RT
能效承諾 不低于6.5
主機(jī)設(shè)備
低溫系統(tǒng)
定頻離心式冷水機(jī)組*1
變頻離心式冷水機(jī)組*1
中溫系統(tǒng)定
頻離心式冷水機(jī)組*2
變頻離心式冷水機(jī)組*1
定頻離心式熱回收冷水機(jī)組*2
項目亮點(diǎn)
設(shè)備配置優(yōu)化
大、小冷量機(jī)組組合（均超國標(biāo)一級能效），變頻+定頻離心機(jī)協(xié)同運(yùn)行，確保不同負(fù)荷下均保持高效。
熱回收技術(shù)：全年運(yùn)行中溫?zé)峄厥諜C(jī)組，提供38℃熱水，實(shí)現(xiàn)能源梯級利用。
冷卻系統(tǒng)智能調(diào)控
大溫差設(shè)計，原設(shè)計冷卻側(cè)水溫為出37℃/回32℃、溫差為5℃，優(yōu)化后變更為冷卻側(cè)水溫為出38℃/回31℃、溫差為7℃。優(yōu)化后冷卻泵流量和揚(yáng)程，均有大幅度降低。同時減少了冷卻水系統(tǒng)的管徑。
BIM管道綜合設(shè)計，為了更好呈現(xiàn)設(shè)計效果，以及與機(jī)房內(nèi)相關(guān)專業(yè)的對接，本次采用BIM管道綜合設(shè)計的方式，使得機(jī)房實(shí)施過程的精準(zhǔn)程度得以大幅度提高，同時也避免了交叉作業(yè)帶來的空間碰撞風(fēng)險。
AI驅(qū)動的能效管理
數(shù)字孿生虛擬機(jī)房：基于特靈高效機(jī)房控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)主機(jī)尋優(yōu)、水泵變頻、冷卻塔調(diào)控等智能化管理，最大化節(jié)能潛力。
特靈高效機(jī)房方案不僅助力降低運(yùn)營成本，更推動了半導(dǎo)體行業(yè)在綠色制造方面的探索。未來，隨著5G、AI芯片、第三代半導(dǎo)體（GaN/SiC）等技術(shù)的快速發(fā)展，高精度溫控需求將進(jìn)一步提升，而特靈的高效制冷方案將為更多電子制造企業(yè)提供穩(wěn)定、節(jié)能的環(huán)境保障。
革新的力量
在“雙碳”目標(biāo)和智能化制造的背景下，半導(dǎo)體行業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展離不開能源效率的提升。國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)正通過技術(shù)創(chuàng)新和精益管理邁向國際競爭舞臺，而特靈則通過高效制冷技術(shù)為電子制造業(yè)的可持續(xù)發(fā)展奠定基礎(chǔ)。二者的結(jié)合，不僅加速了國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的自主化進(jìn)程，也為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的綠色化、智能化轉(zhuǎn)型提供了中國方案。
未來，隨著半導(dǎo)體制造向更小納米制程、更高集成度邁進(jìn)，以及數(shù)據(jù)中心、新能源汽車電子等新興需求的爆發(fā)，能源管理將成為行業(yè)競爭的關(guān)鍵維度。特靈空調(diào)憑借其在高效制冷、智能控制領(lǐng)域的領(lǐng)先技術(shù)，有望在更廣泛的電子制造領(lǐng)域發(fā)揮核心作用，推動行業(yè)向更高效、更可持續(xù)的方向發(fā)展。
