該項目業(yè)主為中日合資企業(yè)，在全國有若干半導體工廠，致力于成為全球半導體晶圓片的主力供應商之一。本項目用地面積約15萬㎡，總建筑面積約25萬㎡，一期即采用了特靈產(chǎn)品，效率及可靠性都得到了業(yè)主的認可。目前為二期項目，建成后預計能實現(xiàn)年產(chǎn)360萬片12英寸拋光片。
項目概況
特靈工程中心負責整個高效機房的優(yōu)化設計、設備供應、施工安裝、運維調(diào)試等工作。工程界面包括低溫及中溫冷凍水系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、熱水及溫水系統(tǒng)、蓄冷系統(tǒng)、自控系統(tǒng)，本項目特靈為用戶承諾全年運行能效超過6.0，同時根據(jù)業(yè)主需求針對典型工況點進行能效驗證，能效驗證標準高于常規(guī)高效機房的驗證標準，充分體現(xiàn)特靈機房總包工程業(yè)務的技術實力。
高效機房總裝機容量為：中溫22000RT+低溫6800RT，主要設備包括超高能效定變頻離心機、變頻冷凍泵、變頻冷卻泵、變頻冷卻塔及其他附屬設備，水系統(tǒng)采用一次泵變流量系統(tǒng)。
半導體行業(yè)對冷凍機房的要求主要體現(xiàn)在以下幾個方面：
溫度
半導體元器件制造過程中，設備和工作環(huán)境的溫度穩(wěn)定性至關重要。冷凍機房需要確保提供恒定的低溫環(huán)境，以滿足半導體制造設備的冷卻需求。同時，冷凍機房的溫度控制還需要考慮半導體材料的特性，避免溫度變化對其性能造成不良影響。
節(jié)能
半導體行業(yè)對能效和環(huán)保的要求也越來越高。冷凍機房設計應采用高效節(jié)能的制冷技術和設備，降低能耗，同時減少對環(huán)境的影響。機房的熱回收和再利用也是提高能效和環(huán)保的重要手段。
安全性與可靠性
半導體制造設備的價值昂貴，且對運行環(huán)境的要求苛刻。因此，冷凍機房設計應充分考慮安全性和可靠性，確保機房設備在長時間運行過程中能夠穩(wěn)定、安全地運行。
時效性
在工業(yè)領域，縮短施工周期意味著實現(xiàn)快速投產(chǎn)。應用BIM等技術，檢測專業(yè)之間的潛在沖突，減少現(xiàn)場變更和返工，是提高施工效率的有效方法。
關鍵技術
基于以上行業(yè)特點，特靈在本次項目中采用了如下技術手段：
超高效離心式冷水機組
多級壓縮直驅(qū)技術，可以在廣闊的容量范圍內(nèi)保持機組的高效運行，并能有效避免喘振。本項目選用的離心機國標工況下COP均在6.3以上，達到國家一級能效標準，其中雙機頭定頻高壓離心機，COP高達6.62，有效提升了機房的綜合能效。
使用環(huán)境友好型R514A冷媒，高效，安全可靠，超低GWP（全球變暖潛能值，＜2），低壓泄露少。
大溫差小流量系統(tǒng)
根據(jù)主機和冷塔的特性，決定最佳的系統(tǒng)溫差，合理的大溫差系統(tǒng)可以：
（1）有效降低水泵流量和揚程和相應水閥尺寸和管道直徑，有助于降低水泵功率和實現(xiàn)系統(tǒng)整體能效目標
（2）多級壓縮機提供的壓差大于單級壓縮機，多級壓縮機組在大溫差條件下更能保持較高的效率和穩(wěn)定性
本項目系統(tǒng)進出水溫如下：低溫冷凍側(cè)進出水6/13℃，中溫冷凍側(cè)12/19℃，水蓄冷供回水溫度：4/11℃和11/18℃，冷卻側(cè)32/39℃。
一次泵變流量系統(tǒng)
本項目水系統(tǒng)采用一次泵變流量系統(tǒng)，當用戶側(cè)負荷發(fā)生變化時，用戶側(cè)的冷凍水流量、供回水溫差、閥門開度和供回水管道之間的作用壓差都會跟著改變。自動控制系統(tǒng)會根據(jù)某個參數(shù)的變化控制水泵變頻調(diào)速，使水泵始終以合理的轉(zhuǎn)速運轉(zhuǎn)，提供系統(tǒng)所需要的揚程和流量。一次泵變流量系統(tǒng)的優(yōu)點：
（1）無二次泵及相關設備，初投資顯著降低，節(jié)省機房面積
（2）能夠根據(jù)末端負荷的變化，調(diào)節(jié)負荷側(cè)和冷水機組蒸發(fā)側(cè)的流量，從而降低水泵能耗
水蓄冷
為了有效降低運行成本，本項目設計了一套水蓄冷系統(tǒng)，低谷電價時，采用中低溫備用冷機聯(lián)合蓄冷，電價高峰時聯(lián)合放冷。
（1）在滿足制冷需求的前提下，減少尖峰用電負荷，節(jié)省運行費用。
（2）水蓄冷系統(tǒng)中水質(zhì)穩(wěn)定，維護相對簡單方便，可靠性高
熱回收
為滿足溫水的使用需求，本項目的中溫熱源由冷機熱回收提供。提高了能源利用效率，減少冷凝熱對環(huán)境產(chǎn)生的熱污染，減少冷卻塔的運行費用和噪聲。
定制化的自控和能源管理系統(tǒng)
本項目根據(jù)主機性能特點以及系統(tǒng)實際設計方案對控制系統(tǒng)進行優(yōu)化：
（1）合理高效的運行策略：冷凍水溫度重設功能、機組軟加載功能、基本負荷控制功能
（2）自適應控制功能：冷水變流量控制、24小時連續(xù)穩(wěn)定運行
（3）斷電快速重啟
系統(tǒng)模擬與機組優(yōu)化選型
基于全年系統(tǒng)負荷與能耗分析是選擇設備性能動態(tài)優(yōu)化的關鍵
（1）本項目基于項目實際情況模擬了準確空調(diào)系統(tǒng)負荷：逐月設計日負荷（空調(diào)負荷，濕負荷），8760h逐時空調(diào)系統(tǒng)負荷
（2）本項目基于項目實際負荷進行了空調(diào)系統(tǒng)多方案優(yōu)化和能耗分析：全年總能耗和總能效分析（設備、子系統(tǒng)、全系統(tǒng)）
（3）本項目基于BIM軟件對機房內(nèi)的設備、管道等進行建模，所見即所得，其強大的協(xié)調(diào)功能，有助于機房整體布置的優(yōu)化，減少溝通障礙，提高決策效率。
隨著物聯(lián)網(wǎng)、5G、人工智能等新興技術快速發(fā)展，中國市場對于半導體產(chǎn)品的需求將會進一步增加，這也為中國半導體產(chǎn)業(yè)提供巨大的市場機遇。特靈作為全球優(yōu)秀的制冷解決方案供應商之一，其產(chǎn)品和工程服務在各個領域都有著廣泛的應用。未來，特靈將與更多的半導體企業(yè)合作研發(fā)適用于新興技術的專用制冷解決方案，為半導體行業(yè)提供更加穩(wěn)定、可靠的一站式服務。
