在光伏產(chǎn)業(yè)向高效化、智能化轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵期，INFICON 作為全球真空測量與薄膜控制領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先者，正以多元化產(chǎn)品矩陣重塑太陽能制造的底層邏輯。從鈣鈦礦電池量產(chǎn)突破到真空環(huán)境精密控制，從薄膜沉積技術(shù)到全流程協(xié)同優(yōu)化，我們將通過系列文章，逐層拆解 INFICON 不同產(chǎn)品與技術(shù)在太陽能制造中的深度應(yīng)用。
系列第二篇：
繼首篇解析英福康全閉環(huán)薄膜控制技術(shù)如何破解鈣鈦礦電池量產(chǎn)難題后，本期我們將聚焦太陽能制造另一核心技術(shù) —— 真空環(huán)境的精密控制。
英?？等盗姓婵沼?jì)產(chǎn)品，可為太陽能制造全流程提供精準(zhǔn)真空監(jiān)測，成為隱形的 "真空指揮官"。
單晶硅制備中的真空精度控制
CZ 直拉法，是單晶硅制備的主流技術(shù)，也是精密制造工藝的典范，其真空度需嚴(yán)格控制在 10??-10?2 mbar 區(qū)間，以確保單晶硅的品質(zhì)。英?？嫡婵沼?jì)這一工序的不同階段發(fā)揮關(guān)鍵作用：
抽空階段：皮拉尼及復(fù)合系列，實(shí)時(shí)監(jiān)測真空系統(tǒng)從大氣壓降至 10?? mbar 的關(guān)鍵過程，快速識別任何細(xì)微的壓力波動或泄漏隱患；
熔融和拉晶階段：CDG 系列真空計(jì)以超高穩(wěn)定性，確保硅原子沿籽晶完美生長，杜絕晶體缺陷的產(chǎn)生。
PERC 與 TOPCon 電池的真空監(jiān)測應(yīng)用
PERC 和 TOPCon 電池作為現(xiàn)階段主流電池之一，其制造也離不開真空監(jiān)測。
1. 正面硼擴(kuò)散
PERC/TOPCon 電池生產(chǎn)的第一步——正面硼擴(kuò)散，通過高溫與硼源氣體的協(xié)同作用，在硅片表面形成導(dǎo)電層。
· 壓力需嚴(yán)格控制在 100–400 mbar，波動會導(dǎo)致硼原子分布不均，影響電池導(dǎo)電性。
· CDG 真空計(jì)，以超高靈敏度實(shí)時(shí)監(jiān)測氣壓變化，保障導(dǎo)電層均勻性。
2. TOPCon 電池膜層制備
TOPCon 電池的膜層制備，同樣是一場 “真空精度與工藝創(chuàng)新” 的協(xié)同戰(zhàn)役：
3. 退火與沉積
非晶硅層需經(jīng) 900℃ 退火 重塑原子結(jié)構(gòu)，真空環(huán)境需確保兩大關(guān)鍵：
· 防污染：在 400-1000 mbar 區(qū)間，真空不足會導(dǎo)致氧/氮原子混入，引發(fā)多晶硅晶界缺陷增多、電子傳輸阻力上升。
· 控壓力：壓力波動＞5%（如 600→630 mbar）將造成晶粒大小不均，導(dǎo)致載流子壽命驟降。
此時(shí)，INFICON 真空計(jì)（如 CDG 系列）化身 "高溫哨兵"：以 ±0.25% FS 精度 實(shí)時(shí)監(jiān)控 400-1000 mbar 壓力，一旦壓力異常， 觸發(fā)警報(bào)，聯(lián)動設(shè)備調(diào)整抽氣速率，將風(fēng)險(xiǎn)扼殺在萌芽。
HJT 電池：全流程薄膜沉積的真空精密控制
作為光伏賽道的“性能擔(dān)當(dāng)”，HJT 電池在收獲市場青睞的同時(shí)，其薄膜沉積工藝也面臨真空度控制的嚴(yán)苛挑戰(zhàn)。
· 非晶硅鈍化層沉積時(shí)，0.8-5mbar 壓力區(qū)間直接影響薄膜質(zhì)量。CDG 與 PSG 系列組成監(jiān)測組合，實(shí)時(shí)監(jiān)控 10?3 mbar 至大氣壓的真空區(qū)間，為整個(gè)沉積過程保駕護(hù)航。
· TCO（如ITO）是光伏組件的核心功能層，其導(dǎo)電性與透光率直接取決于制備工藝的真空精度。PVD磁控濺射工藝采用分段式腔體設(shè)計(jì)，通過真空梯度平衡效率與膜質(zhì)：
鈣鈦礦電池制造中的真空技術(shù)應(yīng)用
作為新一代高效光伏技術(shù)，鈣鈦礦電池的多層膜結(jié)構(gòu)制造離不開精準(zhǔn)真空控制。以下解析其核心工藝與 INFICON 真空計(jì)的協(xié)同作用：
結(jié)語：
當(dāng)太陽能制造邁入 "效率每提升 0.1% 都需全鏈條優(yōu)化" 的時(shí)代，英?？嫡婵沼?jì)以 全量程覆蓋（10?? mbar至大氣壓） 和 耐腐蝕CDG設(shè)計(jì) 成為工藝核心紐帶，其智能控制樞紐角色直接加速高效電池技術(shù)產(chǎn)業(yè)化。
