高效、精確、簡便的泄漏檢測，不僅歸功于高性能的檢測儀器，還離不開儀器所配置的各種智能工具。今天，官微君就將用一篇文章，為您講清楚英?？的切?yīng)用于氦氣檢漏操作，懂儀器、更懂你的實用工具們。
SMART-Spray氦氣噴槍—— 智慧型全能幫手
SMART-Spray是英?？祵閁L系列檢漏儀設(shè)計的便攜式、無線、無管氦氣噴槍，有了它，氦氣泄漏檢測時使用軟管搬運超大氦氣瓶和反復(fù)手動調(diào)節(jié)噴霧量的操作都將成為過去。
單次充裝氦氣，可噴氦超過1000次的SMART-Spray，不僅簡化了檢測流程，提高了檢測效率，還能夠通過精確定位檢查點所需的最低氣體流量大大節(jié)省氦氣用量和檢測成本。
此外，其內(nèi)配備的彩色照明顯示屏，尤其適用于極限泄漏率小于 1 x 10-9 mbar x l/s的環(huán)境，或是有著許多測試點和潛在泄漏的復(fù)雜半導(dǎo)體的泄漏測試，讓檢漏操作更加靈活與簡便。
I·BOOST信號處理濾波器—— 提速技能滿分
依靠軟件更新后的I·BOOST信號處理濾波器，英?？悼赏ㄟ^加速泄漏率信號、縮短噴涂間隔時間，來幫助用戶顯著提升測試效率，尤其適用于UL3000 Fab 和 UL6000 Fab 系列。
更值得一提的是，I·BOOST的優(yōu)勢在復(fù)雜的半導(dǎo)體系統(tǒng)檢漏應(yīng)用中尤為突出。“極限泄漏率越低，測試周期通常就越長，而這正是 I·BOOST 的高靈敏度和省時的最大優(yōu)勢所在?！庇⒏？悼偛慨a(chǎn)品經(jīng)理馬庫斯-施萬貝拉介紹說。
SPRAY-Check參考漏孔—— 不放過一處泄漏
SPRAY-Check是一種易于安裝的參考漏孔，其以石英窗為基礎(chǔ)，只對氦氣和氫氣等輕氣體有滲透性。使用其輔助泄漏檢測，不僅提高了安全性，還擴展了檢測的功能，例如可在相關(guān)泄漏率范圍內(nèi)檢查測量設(shè)置和測試方案，或是將其直接連接到生產(chǎn)系統(tǒng)中進行死區(qū)時間檢查等。
“在使用氦氣進行泄漏檢測時，從噴射氣體到檢漏儀顯示屏出現(xiàn)指示一般會有一段時間的間隔，用戶可通過估算該時間，來明確劃分出潛在的泄漏點。例如，若死鎖時間過后顯示屏沒有任何指示，則說明沒有泄漏?！瘪R庫斯-施萬貝拉進一步解釋說，“由于SPRAY-Check不受對工藝有害的氣體（如水或氧氣）的影響，因此它也可以安裝在半導(dǎo)體系統(tǒng)中，或應(yīng)用于極限泄漏率低于 10-9 mbar x l/s 的系統(tǒng)中?！?/p>
完美適配英?？礥L系列檢漏儀，
助力提升半導(dǎo)體生產(chǎn)效率與品質(zhì)
SMART-Spray、I·BOOST 和 SPRAY-Check，適用于英?？礥L系列的所有移動式氦氣檢漏儀（I·BOOST 僅限于最新一代UL3000 Fab/UL6000 Fab 系列使用）。
UL系列檢漏儀，一直是英?？档耐跖飘a(chǎn)品系列之一。UL6000 Fab，憑借著卓越的性能，被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代半導(dǎo)體工廠和具有超大腔室容積的涂層系統(tǒng)中，滿足較大測試量的檢漏需求。在所有測量范圍內(nèi)，它都能提供最快的響應(yīng)時間和最短的測試時間。同時，其緊湊的設(shè)計，使其即使在狹小的空間內(nèi)也能輕松操作。
UL3000 Fab 系列，也是專為半導(dǎo)體工廠的泄漏檢測而開發(fā)。其具有靈活、機動、調(diào)試快速和靈敏度高等特點，完美匹配半導(dǎo)體行業(yè)用戶對檢測高效性和精準性的要求。此外，UL3000 Fab 的占地面積也很小，可以在狹窄的空間內(nèi)輕松移動。
UL1000 Fab 系列，則在集成以上產(chǎn)品優(yōu)勢的同時，又兼具了經(jīng)濟性，廣泛用于工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中的氦氣真空泄漏測試，尤其適用于較小的真空室。
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