我國(guó)的半導(dǎo)體發(fā)展已到了至關(guān)重要階段，上海漢鐘生產(chǎn)的真空泵為了能在半導(dǎo)體事業(yè)上獻(xiàn)出一份力量，經(jīng)過(guò)多年的研究開(kāi)發(fā)，特推出應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的專用型號(hào)真空泵。
產(chǎn)品介紹
PMF系列、iPM系列和iPH系列，半導(dǎo)體專用干式真空泵
可滿足芯片制造環(huán)節(jié)的Load Lock、Metrology、PVD、Ashing、ETCH、CVD、ALD等工藝需求，并得到了眾多終端FAB廠和半導(dǎo)體設(shè)備商的好評(píng)。
PMF系列，專用于半導(dǎo)體干凈制程
如Load Lock、Metrology。此系列機(jī)型以體積小巧、安裝方便、節(jié)能效果為顯著特點(diǎn)。其運(yùn)行穩(wěn)定性讓使用者放心；高性價(jià)比更是得到了很多新老客戶追捧和贊賞。
iPM系列，專用于半導(dǎo)體中度嚴(yán)苛制程
包括Ashing、Oxide Etch、Si Etch。此系列產(chǎn)品同樣以體積小巧、安裝方便、節(jié)能效果好、運(yùn)行穩(wěn)定等顯著特點(diǎn)得到客戶的高度認(rèn)可。
iPH系列，專用于半導(dǎo)體重度嚴(yán)苛制程
包括Metal Etch、Implant、SACVD、MOCVD、PECVD、LPCVD、ALD等工藝。獨(dú)特的泵體冷卻均勻和N2加熱恒溫系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可避免大面積制程物沉積在泵體內(nèi)，可大大延長(zhǎng)此產(chǎn)品的使用壽命和保養(yǎng)周期。同時(shí)，此系列產(chǎn)品也配備了耐防腐、耐粘液、防粉塵等專用涂層，能更好地應(yīng)對(duì)并解決嚴(yán)苛制程工藝中粉塵多、強(qiáng)腐蝕等問(wèn)題，讓真空泵能長(zhǎng)期穩(wěn)定的運(yùn)行。真正做到了讓客戶買的放心，用的安心。
隨著各系列產(chǎn)品在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的廣泛應(yīng)用，已做到長(zhǎng)期無(wú)返修、保養(yǎng)周期長(zhǎng)，減少了客戶端真空泵產(chǎn)品的故障頻率，能更好的提升客戶的產(chǎn)線效率和產(chǎn)能。相信HANBELL真空泵產(chǎn)品一定是未來(lái)半導(dǎo)體行業(yè)的明星產(chǎn)品。
